Çok sayıda sıralı aşındırıcılar ile gözden çıkarılabilir bir tabakayı kaldırmaya bir mikro-mekanik araç imal etmek için yöntem
US 20050045276 A1

ÖZET

Bu tür bir cihaz oluşturmak için bir mikromekanik gibi bir aşındırma yöntemi açıklanmaktadır. Yöntemin bir düzenlemesi, bir mikro-mekanik yapısı serbest içeren bir alt-tabakanın temin edilmesi için olduğu; alt tabaka üzerinde doğrudan ya da dolaylı olarak bir gözden çıkarılabilir katman sağlama; gözden çıkarılabilir tabaka üzerinde bir ya da daha fazla mikro-mekanik yapısal tabakalar temin edilmesi; bir birinci bir iz yapan gözden çıkarılabilir tabakanın bir bölümünün ayrılması için bir dağlayıcı gaz sağlamak ve gaz dağlayıcı fiziksel veya kimyasal olarak ve fiziksel olarak, gözden çıkarılabilir tabakanın kısmını çıkarmak için izin verecek şekilde dağlayıcı gaz enerji içeren bir birinci rölyef; ikinci bir iz yapan ikinci bir kimyasal aşındırma değil, fiziksel olarak gözden çıkarılabilir bir materyalin ilave çözünen bir madde, bir gaz temin etmek olup, geçici katmanın ek gözden çıkarılabilir materyali çıkarmak için. Yöntemin diğer bir düzenlemesi, bir alt-tabaka üzerinde ya da içinde, bir silikon içeren malzemenin gravür içindir: silikon bir bölümünün ayrılması için bir birinci gerçekleştirme bir iz, pürüzlendirici izin verecek şekilde bir gaz dağlayıcı dağlayıcı gaz temin etmek ve enerji içeren bir birinci rölyef Doğal gaz, fiziksel veya kimyasal olarak ve fiziksel olarak, silikon kısmını çıkarmak için; Ek silikon ortadan kaldırmak üzere ikinci bir iz yapmak, ikinci kimyasal aşındırma değil, fiziksel olarak ek silikon çözünen bir madde, bir gaz temin etmek dağlayıcı ihtiva eder.